三星和LG将用ALD技术产柔性屏 延长使用寿命

据产业人士透露，三星显示器和LGDisplay正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。JusungEngineering、WONIKIPS、APSystem和TES拥有ALD技术和设备。LGDisplay已经完成对ALD的研究，准备将它用于柔性OLED生产;三星显示器也在加速部署ALD技术。

    三星显示器公司与LGDisplay准备在柔性OLED薄膜封装过程中采用ALD(原子层沉积)技术，两家公司已经与合作伙伴合作，在内部采购并验证ALD设备。如果采用ALD技术，就可以更好保护有机材料，减少氧、水的影响，从而提高柔性OLED面板的寿命和性能。    据产业人士透露，三星显示器和LGDisplay正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。JusungEngineering、WONIKIPS、APSystem和TES拥有ALD技术和设备。LGDisplay已经完成对ALD的研究，准备将它用于柔性OLED生产;三星显示器也在加速部署ALD技术。    两家公司完成了ALD技术的研发，它们正在考虑实际引入ALD的可能性，因为它们发病时晕倒，口土白沫正在向柔性OLED生产设施投资。企业的研发已经完成，开始进入商用阶段。    OLED是有机材料，它存在缺陷，比如，OLED对水和氧的防护比较弱。为了保护OLED，制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜，减少水和氧的侵蚀。具体铺多少层?不同的制造商有不同的标准，一般而言，制造企业会用一种名叫“Vitex”的方法在OLED之上铺盖有机薄膜和无机薄膜，交叠进行，各自3-5层。。    在无机薄膜封装过程中，企业一般使用PECVD(怎样治疗羊癫疯才能好得快呢等离子体增颠痫治疗需要多少钱强化学汽相沉积)、溅射、ALD技术;如果是有机薄膜沉淀，使用的是Kateeva的喷墨打印技术。为了生成无机薄膜，三星和LG采用PECVD技术。    为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD?因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。另外，柔性OLED屏幕的生产力下降，需求增长也是一个问题。    ALD技术是CVD(化学蒸惠济军海脑病医院几级汽沉积)技术的一种，它交替喷射原材料(包括ALD金属和反应气体)从而形成原子薄膜层。MLD技术(分子层沉积)可以形成有机材料分子层，两者结合就可以形成多层屏障，保护OLED，使之免受水和氧的侵蚀，即使在低温下也可以形成。    在屏幕生产过程中引进ALD技术有一些优势，例如，它可以减少杂质，形成厚度相同的薄膜。ALD技术可以涂上高质量薄膜层，保护效果明显增强。如果无机薄膜的厚度不同(只有几纳米的差别)，层层叠加，总薄膜厚度、渗水率就会受到影响。除此之外，与现有的CVD方法相比，ALD技术还可以采用各种不同的薄膜，这也是它的一个优势。    半导体产业追求精细工艺，ALD成为它们追捧的对象。不过显示屏产业一直对ALD保持犹豫态度，因为它的成本比PECVD高，大面积使用也存在一定的问题，沉积速度不够快。很近一段时间问题已经部分解决，正因如此ALD才会真正投入使用。    一名产业代表称：“虽然ALD和PECVD不可同日而语，但是ALD的沉积速度比PECVD慢了大约10倍。因为沉积速度慢，生产效率也很低，大面积应用有困难，这些都是主要的障碍，之所以真正引进ALD技术，主是是考虑到它可以形成更薄的高质量薄膜。”

关键词：ALD设备，三星显示器公司，LGDisplay

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